◆특징​

▷AC 서브모터는 브러쉬리스이므로 클린룸에서의 컨테키네이션이 우수하고, 머터의 발영을 줄임   으로서 연속 사용 시 온도상승에 의한 막두께 재현성에 대한 영향도 잘받지 않습니다.

▷​프로그램 기능이 최대 100스텝 10프로그램 메모리 가능합니다.

▷​디지털 진공게이지를 전기종 표준장비 채택했습니다.

▷​베큠 인터록의동작 압력범위 변경이 가능합니다.

▷밀폐형 스핀코터는 일반형보다 막두께 분포도가 좋습니다.​

◆사양

​▷​시간설정: 999.9sec

▷회전정밀도: ±1rpm

▷​사용진공도: -0.08~0.1MPa

▷유틸리티: 에어압 0.3MPa(상부 실린더용)

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