◆특징
▷오토클레이브 가능합니다.

◆사양
▷재질 : 붕규산 유리-1
▷눈금 없는 타입 

◆특징

▷각 페이지에는 페이지 번호가 인쇄되어 있어 중간에 찢어내는 것과 위조를 방지할 수 있습니다.

▷​본문 페이지는 기록 날짜 및 기입자, 확인자의 서명란이 있는 5㎜ 방안지로 구성되어 있습니다.

▷​하드 커버와 종이 두께 100g/m2의 고급지를 사용하고 있어 장기사용 및 보관에 적합합니다.

◆사양

▷사이즈(㎜) : 217 × 305 × 17

▷​방안 모눈 크기 : 5 × 5㎜

▷HX-10은 Ash/Strip 공정을 위한 투명한 제품입니다. 

▷​HX-10은 충전제없이 설계된 초순수 과불화탄성체 제품으로 공정오염에 대한 위험을 최소화하며, 산소 및 불소 기반 플라즈마 환경에서 우수한 플라즈마 균열 저항성을 나타냅니다.

또한, 뛰어난 기계적 강도 및 낮은 영구압축복원율을 가지고 있습니다. 

▷​HX-10은 최대 275℃에서 사용 가능합니다.

◆​​Features & Benefit

  • Exceptional plasma resistance in oxygen and fluorine environments 

  • High purity, very low metallic ion content 

  • Excellent compression set properties 

  • Excellent resistance to dry process chemistry​

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                 Transparent Amber

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      69

   Tensile Strength at Break, MPa                19.5

   Elongation at Break, %                              184

   100% Modulus, MPa                               3.1

Compression Set, %

   70 hours @ 204℃                                       16​

   Maximum Application Temperature, ℃      275