▷HX-5는 반도체 고온공정용으로 특별히 개발되어진 제품입니다.

◆​​Features & Benefit​

   • Fittings

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                                       Black

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      76

   Tensile Strength at Break, MPa                16.2

   Elongation at Break, %                              205

   100% Modulus4), MPa                               7.0

  Compression Set5), %​

   70 hours @ 300℃                                       27

   70 hours @ 325℃                                       43

   Maximum Application Temperature, ℃      325 

​ 

​▷HX-6는 반도체 식각(Etching) 및 증착(Deposition) 공정을 위해 특별히 개발되어진 초순수 과불소제품입니다.

◆​​Features & Benefit​

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                             Dark Brown

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      74

   Tensile Strength at Break, MPa                12.4

   Elongation at Break, %                              178

   100% Modulus4), MPa                               5.2

  Compression Set, %

   70 hours @ 204℃                                         8

   70 hours @ 250℃                                       12

   70 hours @ 300℃                                       19

   70 hours @ 325℃                                       34

   Maximum Application Temperature, ℃       325  

▷ HX-7은 반도체 및 디스플레이 산업의 가혹한 공정에서 사용하기 위해고성능 소재로 개발된 회색의 과불화탄성체입니다.

▷​ HX-7은 플라즈마로 인한 높은 부식성 환경에서 낮은 식각율로파티클 발생으로 인한 문제를 최소화하기 위하여 설계되었습니다.

   또한 우수한 열적 특성과 영구압축복원율로 씰의 수명을 연장시켜높은 공정수율을 제공합니다.

▷​ HX-7은 최대 325℃에서 사용가능합니다.​

◆​​Features & Benefit

  •​ Outstanding plasma resistance in highly corrosive environments

   • Fittings

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                                       Gray

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      75

   Tensile Strength at Break, MPa                11.2

   Elongation at Break, %                              202

   100% Modulus, MPa                               6.1

Compression Set, %

   70 hours @ 204℃                                       12​

   70 hours @ 300℃                                       34

   70 hours @ 325℃                                       52

   Maximum Application Temperature, ℃      325  

​▷HX-8은 반도체 및 디스플레이 산업의 가혹한 공정에서 사용하기 위해고성능 소재로 개발된 순수한 과불화탄성체입니다.

▷​HX-8은 플라즈마로 인한 높은 부식성 환경에서 낮은 식각율로 파티클 발생으로 인한 문제를 최소화하기 위하여 설계되었습니다.

  또한 우수한 열적 특성과 물리적 강도를 제공하여, 정적 및 동적공정에 모두 적합합니다.

▷​NANOPURE® HX-8은 최대 310℃에서 사용가능합니다.

◆​​Features & Benefit

  • Low erosion rate and particle generation in oxygen and fluorine plasmas

  • Excellent thermal stability

  • Very low metals content

  • Excellent mechanical strength

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                            Dark Auburn

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      74

   Tensile Strength at Break, MPa                11.0

   Elongation at Break, %                              250

   100% Modulus, MPa                               3.9

Compression Set, %

   70 hours @ 204℃                                       16​

   70 hours @ 250℃                                       20

   70 hours @ 300℃                                       39

   70 hours @ 310℃                                       43​

   Maximum Application Temperature, ℃      310   

▷HX-9는 반도체 고온공정용으로 특별히 개발되어진 제품입니다.

   특히, Oxidation, Diffusion furnace, LPCVD 등의 고온공정에서 매우 뛰어난 열적안정성을 제공합니다.

▷HX-9는 낮은 outgassing과 우수한(낮은) 영구압축복원율을 지녔으며, 높은 온도에서 뛰어난 기계적 강도로 고정부 및 구동부 모두 적합합니다.

▷​NANOPURE® HX-9는 최대 327℃에서 사용 가능합니다.​

◆​​Features & Benefit

  • Outstanding thermal stability 

  • Excellent (low) compression set properties 

  • Very low outgassing 

  • Excellent seal force retention properties

◆​​Typical Physical Properties

   Color                                                       Black

   Polymer Type                    Perfluoroelastomer

   Hardness, Shore A                                      78

   Tensile Strength at Break, MPa                14.3

   Elongation at Break, %                              178

   100% Modulus4), MPa                               7.2

Compression Set5), %

   70 hours @ 204℃                                       10​

   70 hours @ 250℃                                       14

   70 hours @ 300℃                                       18

   70 hours @ 325℃                                       32​

   Maximum Application Temperature, ℃      327