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 WAFER CARRIER / Aluminum Wafer Carrier |
#2011-P1698, #2013-P1929 |
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◆특징
▷알루미늄추출 가공품으로, 표면은 테프론? 코팅처리를 했습니다.
◆사양
▷수납수 : 25매
▷피치: 4.76mm
▷D1치수 : MC-30.40.50.60/13.97㎜, MC-80/25.4㎜
▷내열온도 : 180℃
※고온용 캐리어도 있습니다(재질:Aluminum,stainless steel)
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 6-7987-58 도면.pdf
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WAFER CARRIER / Conductive PBT Wafer Carrier |
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◆특징 ▷대전방지, 반송·보관용 캐리어입니다.
▷KM-854NEH4는 13매용 제품으로서, 다양한 두께의 웨이퍼를 보관 할 수 있습니다.
◆사양
▷수납수 : 25매 ▷재질 : 세미프라스트?NEO(PBT+Carbon)
▷D1치수 : KM-834NE-H/14.65㎜, KM-834NE-H4/25.4㎜ ▷핸들 포함입니다 |
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WAFER CARRIER / Conductive PEEK Carrier |
#2011 P1696 |
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◆특징
▷대전 방지형, 고온용 카셋트입니다.
◆사양
▷수납수 : 25매
▷재질 : 세미프라스트?K(PEEK)+Carbon
▷D1치수 : 13.97㎜
▷피치 : 4.76㎜
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WAFER CARRIER / Conductive PEEK Carrier |
#2011 P1696 |
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◆특징
▷정전기 대책용, 고온용의 카셋트입니다.
▷KM-632 K-SA는 로봇 플랜지가 있습니다.
◆사양
▷수납수 : KM-632K-SA/25매, KM-839K-A1/26매
▷재질 : 세미프라스트?K(PEEK)+Carbon
▷D1치수 : 25.4㎜
▷피치 : 6.35㎜
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WAFER CARRIER / NEO Wafer Carrier |
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◆특징
▷대전방지, 반송·보관용 캐리어입니다.
▷ KM61ONE-A2는 12매용 제품으로, 다양한 두께의 웨이퍼를 보관할 수 있습니다.
◆사양
▷재질: 세미플라스트?NEO (PBT+ Carbon) |
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