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 LT Metal / Source Materials |
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◆사양 - Au ▷Melting Point : 1063℃ ▷Boiling Point : 2808℃ ▷Density : 19.3g/㎤ ▷Thermal Conductivity : 317W at 27℃ ▷Specific Heat : 129J at 25℃ ▷Mohs Hardness : 9.0 ai 20℃ - Pt ▷Melting Point : 1769℃ ▷Boiling Point : 3800℃ ▷Density : 21.45g/㎤ ▷Thermal Conductivity : 71.6W at 27℃ ▷Specific Heat : 133J at 25℃ ▷Vickers Hardness : 38 - 40 |
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◆특징 ▷AC 서브모터는 브러쉬리스이므로 클린룸에서의 컨테키네이션이 우수하고, 머터의 발영을 줄임 으로서 연속 사용 시 온도상승에 의한 막두께 재현성에 대한 영향도 잘받지 않습니다. ▷프로그램 기능이 최대 100스텝 10프로그램 메모리 가능합니다. ▷디지털 진공게이지를 전기종 표준장비 채택했습니다. ▷베큠 인터록의동작 압력범위 변경이 가능합니다. ▷밀폐형 스핀코터는 일반형보다 막두께 분포도가 좋습니다. ◆사양 ▷시간설정: 999.9sec ▷회전정밀도: ±1rpm ▷사용진공도: -0.08~0.1MPa ▷유틸리티: 에어압 0.3MPa(상부 실린더용) |
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PLATING / P.G.C & Temperex |
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◆특징
▷청화금카리움(KAu(CN)2)은 Au 함량이 68% 이상의 백색 분말로써 물이나 알코올에 용해하여 사용하며, 각종 금 도금에 널리 사용됩니다.
▷Temperex는 본딩성, 내열성, 납땜성이 뛰어나 반도체용 부품에 최적이며, 뛰어난 균일, 전착성에 의해 사용되는 금량의 절감이 가능하다. ◆사양
▷KAu(CN)2 순도 : 99.46% 이상 ▷Temperex 석출 순도：99.99% ▷석출효율：110∼120mg/A.min
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SOULBRAIN / POCL3(Phosphorus Oxychloride) |
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◆사양
▷반도체 제조용 박막증착용 화합물 ALD/CVD Source
▷습한 공기에서 무색 투명 액체, 가스
▷순도 : 99.9999%
▷밀도 : 1.645 g / cm 3, 액체
▷분자모양 : 4면체
▷EU 분류 : 매우 독성 (T의 +) 에 유해 (Xn) 에 부식성 (C)
◆용기 : Bubbler
▷재질 : Quartz
▷용량 : 1500cc
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