◆사양
▷반도체 제조용 박막증착용 화합물 ALD/CVD Source
▷무색의 액체
▷순도 : 99.999995%
▷밀도 : 20 ° C에서 0.933 ㎍ / ㎖
▷인화점 : 45 ° C (113 ° F, 318 K)
▷주용 위험 :  흡입, 가연성 유해

◆용기
▷재질 : SUS316
▷용량 : 2.3 Ga, 5Ga Canister