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 WAFER / Quartz Wafer |
#2012-L82 |
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◆특징
▷석영유리는 순수한 규산(SiO₂)으로 이루어진 유리로 Fused silica, Fused quartz, Silica glass, Quartz glass 등으로 다양하게 표현되며 불순물이 수 백ppm 이하인 고순도의 규산을 고온(약 2,000℃ 이상)에서 용융하여 제조한 유리입니다. 일반적으로 천연광물 형태로 존재하는 순수한 규산 광물을 석영(quartz)이라하고 이들 중 투명한 결정을 수정이라 합니다.
▷석영유리중 순도가 아주좋은 천연석영(quartz)을 용융하여 유리로 만든것을 Fused quartz라고 부르며 정제공정을 통하여 불순물을 제거한 규사를 용융시켜 제조한 것을 Fused silica라고 합니다.
◆사양
▷2인치(50mm) ∼ 8인치(200mm) 까지의 Dummy, Opticle, Window 등 다양한 종류의 Quartz Wafer가 있으며, 가공 서비스도 합니다. |
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◆사양 ▷Orientation(M-axis) : C 0.2˚off±0.05˚ ▷Diameter : 50.8±0.05mm ▷OF length : 16±1.5mm ▷Thickness : 430±20um ▷Bow : 5 ~ -10um ▷TTV: ≤7um ▷Frontside Roughness : RA ≤ 2Å ▷Backside Roughness : 0.6um≤ RA ≤1.2um ※ 다른 사양의 서비스도 가능합니다. |
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WAFER / Silicon Wafer |
#2012-L82 |
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◆사양
▷2인치(50mm) ∼ 12인치(300mm)의 Prime, Test, Dumy grade등 각종 Si Wafer 취급 및 재고를 확보하고 있으며, 가공 서비스도 가능합니다.
▷포장단위 : 25장/카세트, 24장/카세트
※기본사양 이외의 제품은 문의하여 주십시요. |
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WAFER / Thermal Oxidation Wafer |
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WAFER / Undoped Silicon Wafer |
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◆사양 ▷Single Side Polishing (SSP) ▷Notch type ▷Type/Dopand : P/Undoped ▷Crystal Orientation : <100> ▷Resistivity : >10,000Ω-㎝
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